Silizium Halbleitertechnologie

Dieses eBook ist für Personen mit technischem Interesse am grundsätzlichen Aufbau von Mikrochips gedacht.


Es werden folgende Grundlagen kurz behandelt:


- Kristallzucht

Was ist ein Halbleiter? Was macht ihn für die Elektrotechnik interessant? Wie läßt er sich nutzen? Wie wird er hergestellt?


- Bearbeitungsschritte

Überblick über Bearbeitungsmethoden in der Halbleiterindustrie wie Fotolithografie, Oxidation, Schichtabscheidung, Ätzen, Dotierung ... 


- CMOS-Schaltung

Ein kurzer Einblick in CMOS-Schaltungen als Beispiel für den eigentlichen Prozess.

Halbleiterdiode --> Transistor --> Inverter.


- CMOS-Prozess

Ausgehend aus einer Siliziumscheibe wird ein Inverter realisiert.


- Aufbau und Verbindungstechnik

Ein ganz kurzer Blick auf die Fertigung des Mikrochips um die Brücke vom Silizium zum fertigen Mikrochip zu schlagen.