新・半導体工場のすべて 設備・材料・プロセスからAI技術の活用ま‪で‬

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元NECの伝説的な技術者であり半導体製造の全工程を熟知する第一人者が、半導体にまつわるヒト・モノ・カネを「工場」を切り口に整理し、多数の図解とともに解説した大好評入門書の最新版。世界的な工場建設ラッシュ、TSMCとラピダスの動向、3D積層化やAIをはじめとする次世代技術などの情報を新たに盛り込んだ。